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Optical and Quantum Electronics
Erschienen in: Optical and Quantum Electronics 11/2016

01.11.2016

Picosecond laser fabrication of microchannels inside Foturan glass at CO2 laser irradiation and following etching

verfasst von: M. M. Sergeev, V. P. Veiko, E. Y. Tiguntseva, R. O. Olekhnovich

Erschienen in: Optical and Quantum Electronics | Ausgabe 11/2016

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Abstract

In this work, the formation of hollow-type microchannels in the bulk of a photostructurable glass of the brand Foturan is proposed. It is based on the chemical dissolution of crystallized areas, which are formed as a result of the action of picosecond laser pulses and photothermal treatment produced by CO2 laser irradiation. A speed of formation of microchannels was estimated. Microchannels formation features at each stage of laser irradiation are discussed, and the dependence of microchannels characteristics (size, shape and roughness of inner walls) on laser processing and chemical etching parameters were evaluated as well.
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Metadaten
Titel
Picosecond laser fabrication of microchannels inside Foturan glass at CO2 laser irradiation and following etching
verfasst von
M. M. Sergeev
V. P. Veiko
E. Y. Tiguntseva
R. O. Olekhnovich
Publikationsdatum
01.11.2016
Verlag
Springer US
Erschienen in
Optical and Quantum Electronics / Ausgabe 11/2016
Print ISSN: 0306-8919
Elektronische ISSN: 1572-817X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11082-016-0752-2

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