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Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 8/2015

01.08.2015

Pre-oxidation of AlN substrates for subsequent metallization

verfasst von: Chun-Ting Yeh, Wei-Hsing Tuan

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 8/2015

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Abstract

To introduce a surface oxide layer onto aluminum nitride substrate helps its subsequent metallization. In the present study, the oxidation behavior of AlN substrate is investigated. The pre-oxidized AlN substrate is then bonded to a copper plate. The oxide layer of the substrate is porous, and its presence degrades thermal diffusivity and flexural strength at thicknesses greater than 6 μm. An AlN substrate with a thin oxide layer can bond directly to copper plate at 1070 °C. The thin oxide layer remains stable after bonding with copper plate; however, it acts as a barrier to thermal conduction.

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Metadaten
Titel
Pre-oxidation of AlN substrates for subsequent metallization
verfasst von
Chun-Ting Yeh
Wei-Hsing Tuan
Publikationsdatum
01.08.2015
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 8/2015
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-015-3160-7

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