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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 11/2020

17.06.2020 | International Electron Devices and Materials Symposium 2019

Reduction of Contact Resistivity by Nano-Textured Contact

verfasst von: Bing-Yue Tsui, Ya-Hsin Lee, Chen-Yi Lee

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 11/2020

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Metadaten
Titel
Reduction of Contact Resistivity by Nano-Textured Contact
verfasst von
Bing-Yue Tsui
Ya-Hsin Lee
Chen-Yi Lee
Publikationsdatum
17.06.2020
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 11/2020
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-020-08236-1

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