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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

87. Rutherford Backscattering Spectrometry

verfasst von : Daiichiro Sekiba

Erschienen in: Compendium of Surface and Interface Analysis

Verlag: Springer Singapore

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Abstract

RBS is a method to determine the absolute elemental composition, usually of thin films (t ~ several tens or hundreds nm) deposited on substrates.

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Literatur
1.
Rutherford, E.: LXXIX. The scattering of α and β particles by matter and the structure of the atom, Philosophical Magazine Series 6, 21: 669–688, (1911)
2.
Bragg, W.-H., Kleeman, R.: XXXIX. On the a particle of Radium, and their loss of range in passing through various atoms and molecules, Phil. Mag. Dec. 318–340, (1904)
3.
4.
Huiberts, J.-N., Griessen, R., Rector, J.-H., Wijngaarden, R.-J., Dekker, J.-P., de Groot, D.-G., Koeman, N.-J.: Yttrium and lanthanum hydride films with switchable optical properties. Nature 380, 231–234 (1996)CrossRef
5.
Sekiba, D., Horikoshi, M., Abe, S., Ishii, S.: Mg segregation in Mg-rich Mg-Ni switchable mirror studied by Rutherford backscattering, elastic recoil detection analysis, and nuclear reaction analysis, J. Appl. Phys. 106, 114912/1–114912/5 (2009)CrossRef
Metadaten
Titel
Rutherford Backscattering Spectrometry
verfasst von
Daiichiro Sekiba
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Singapore
Buch
Compendium of Surface and Interface Analysis

Print ISBN: 978-981-10-6155-4

Electronic ISBN: 978-981-10-6156-1

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_87

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