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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

5. Scanning Electron Microscope (SEM) Instrumentation

verfasst von : Joseph I. Goldstein, Dale E. Newbury, Joseph R. Michael, Nicholas W. M. Ritchie, John Henry J. Scott, David C. Joy

Erschienen in: Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis

Verlag: Springer New York

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Abstract

Why worry about electron optical parameters?

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Fußnoten
1
Glass lenses and transmission electron microscope lenses also have a related property known as depth-of-focus, a term that is often confused with depth-of-field. Depth-of-field refers to the range of heights in simultaneous focus on the sample (i.e., the observed field). In contrast, depth-of-focus refers to the range of positions near the imaging plane of the lens where the image is in focus. This determines, for example, how far away from the ideal imaging plane of the lens you can place a piece of film, or a CCD detector, and still capture an in-focus image. Because SEMs capture images via scanning action, the term depth-of-focus is not relevant.
 
Literatur
Zurück zum Zitat Everhart T, Thornley R (1960) Wide-band detector for micro-microampere low-energy electron currents. J Sci Instrum 37:246CrossRef Everhart T, Thornley R (1960) Wide-band detector for micro-microampere low-energy electron currents. J Sci Instrum 37:246CrossRef
Zurück zum Zitat Fiori C, Yakowitz H, Newbury D (1974) Some techniques of signal processing in scanning electron microscopy. In: Johari O (ed) SEM/1974. IIT Research Institute, Chicago, p 167 Fiori C, Yakowitz H, Newbury D (1974) Some techniques of signal processing in scanning electron microscopy. In: Johari O (ed) SEM/1974. IIT Research Institute, Chicago, p 167
Zurück zum Zitat Jones R (1959) Phenomenological description of the response and detecting ability of radiation detectors. Adv Electr Electron Opt 11:88 Jones R (1959) Phenomenological description of the response and detecting ability of radiation detectors. Adv Electr Electron Opt 11:88
Zurück zum Zitat Joy DC, Joy CS, Bunn RD (1996) Measuring the performance of scanning electron microscope detectors. Scanning 18:533CrossRef Joy DC, Joy CS, Bunn RD (1996) Measuring the performance of scanning electron microscope detectors. Scanning 18:533CrossRef
Zurück zum Zitat Newbury DE (1976) “The utility of specimen current imaging in the scanning electron microscope” SEM/1976/I. IIT Research Inst, Chicago, p 111 Newbury DE (1976) “The utility of specimen current imaging in the scanning electron microscope” SEM/1976/I. IIT Research Inst, Chicago, p 111
Zurück zum Zitat Robinson V (1975) “Backscattered electron imaging” SEM/1975, I. IIT Research Inst, Chicago, p 51 Robinson V (1975) “Backscattered electron imaging” SEM/1975, I. IIT Research Inst, Chicago, p 51
Zurück zum Zitat Wells OC (1957) The construction of a scanning electron microscope and its application to the study of fibres. Ph. D. Diss., Cambridge University, Cambridge Wells OC (1957) The construction of a scanning electron microscope and its application to the study of fibres. Ph. D. Diss., Cambridge University, Cambridge
Metadaten
Titel
Scanning Electron Microscope (SEM) Instrumentation
verfasst von
Joseph I. Goldstein
Dale E. Newbury
Joseph R. Michael
Nicholas W. M. Ritchie
John Henry J. Scott
David C. Joy
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer New York
DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4939-6676-9_5

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen.