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Erschienen in:
Integration of Piezoelectric Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) Thin Films into Micromachined Sensors and Actuators Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2002 | OriginalPaper | Buchkapitel

Self-Assembled Monolayers (SAM) for Tunneling Sensors

verfasst von : Francis E. H. Tay, S. J. O’Shea, Andrew T. S. Wee, Poh Chong Lim, Andojo Ongkodjojo

Erschienen in: Materials & Process Integration for MEMS

Verlag: Springer US

Enthalten in: Professional Book Archive

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In this research, we explore the use of SAM (Self-Assembled Monolayers) materials for improving the robustness of a tunneling accelerometer. For gold coated tip-gold sample, the results are comparable with expectations for tunneling between gold electrodes in air. Using SAM materials, the robustness of the tunnel tips in terms of reliability shows promise of improved characteristics.

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Metadaten
Titel
Self-Assembled Monolayers (SAM) for Tunneling Sensors
verfasst von
Francis E. H. Tay
S. J. O’Shea
Andrew T. S. Wee
Poh Chong Lim
Andojo Ongkodjojo
Copyright-Jahr
2002
Verlag
Springer US
Buch
Materials & Process Integration for MEMS

Print ISBN: 978-1-4419-5303-2

Electronic ISBN: 978-1-4757-5791-0

Copyright-Jahr: 2002

DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4757-5791-0_6

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