Skip to main content
Fachgebiete
Automobil + Motoren Bauwesen + Immobilien Business IT + Informatik Elektrotechnik + Elektronik Energie + Nachhaltigkeit Finance + Banking Management + Führung Marketing + Vertrieb Maschinenbau + Werkstoffe Versicherung + Risiko
DE
EN
Bücher
Zeitschriften
Themenseiten
Organisationspsychologie Projektmanagement Marketing Smart Manufacturing
Weitere Formate
Podcasts Webinare Technik Webinare Wirtschaft Kongresse Veranstaltungskalender Awards
Jetzt Einzelzugang starten
Zugang für Unternehmen
Referenzkunden
SLX-Digitalkonferenz: Zukunftswerkstatt 2024

Mehr Umsatz mit Top-Kontakten

Am 7. Mai erfahren Sie, wie Vertriebsteams Leadgenerierung, Leadnurturing und Leadstrategien effizient steuern können.
Erweiterte Suche
Anmelden
nach oben
Erschienen in:
Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

10. Spezielle Kontaminationsquellen

verfasst von : Martin Schottler, Wolfgang Eißler

Erschienen in: Reinraumtechnik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Einloggen

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Zusammenfassung

Durch die fortschreitende Minimierung der Strukturen in der Halbleiterindustrie haben sich die Anforderungen an die direkte Prozessumgebung in den letzten Jahren stark verändert. Historisch betrachtet bedeutete Kontaminationskontrolle die Sicherstellung einer temperatur- und feuchtegeregelten Umgebung, in der die Anzahl der Partikel bzw. Keime in der direkten Prozessumgebung kontrolliert bzw.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 340 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren
Vorheriges Kapitel Reinstwasserherstellung und Verteilung
Nächstes Kapitel Biokontaminationskontrolle
Fußnoten
1
1 ITRS Roadmap Edition 2015; Tabelle FI-10 Facilities Technology Requirements http://​www.​itrs2.​net/​itrs-reports.​html
 
2
2 ITRS Roadmap Edition 2015; Daten aus Tabelle FI-7 und FI-10 Facilities Technology Requirements http://​www.​itrs2.​net/​itrs-reports.​html
 
Literatur
[1]
[2]
Unterlagen, M. von: Pfutterer, M + W Products GmbH, zur ITRS Diskussion über Refractories
[3]
ITRS International Technology Roadmap for Semiconductors, 2007 edition, Yield enhancement (2007)
[4]
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 8: Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination, DIN EN ISO 14644-8; Deutsche Fassung EN ISO 14644-8 (2006)
[5]
Schwedt, G.: Taschenatlas der Umweltchemie. Thieme, Stuttgart (1996)
[6]
 [7]
Englmüller, A., Ishiwari, S., Kiyota, S.: In: Ryssel, H., Pfitzner, L., Trunk, R. (Hrsg.) Productronica 97, Proceedings HLF Workshop. FRaunhofer IRB, Stuttgart (1998)
 [8]
Veran, E.: Adixen, persönliche Mitteilung (2010)
 [9]
Chemische Analytik – Nachweis-, Erfassungs-, und Bestimmungsgrenze – Ermittlung unter Wiederholungsbedingungen; Begriffe, Verfahren, Auswertung, DIN 32645
[10]
ITRS International Technology Roadmap for Semiconductors, 2009 edition, Yield enhancement (2009)
[11]
Ishiwari, S., Kato, H., Ichikawa, Y.: Evaluation of adsorption behavior for high boiling point organic compound on Si surface by Si plate method, Abstract
[12]
Kang, Y., Den, W., Bai, H., Ko, F.-H.: J. IEST. 48, 21 (2005)
[13]
Bügler, J., Zielonka, G., Pfitzner, L., Ryssel, H., Schottler, M.: In: Kolbesen, B.O., Claeys, C., Stallhofer, P., Tardif, F. (Hrsg.) Proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC, S. 294. Nürnberg (2001)
[14]
Hartzell, A.: Deposition of molecular contaminants in gaseous environments. In: Donovan, R. (Hrsg.) Contamination Free Manufacturing for Semiconductors and Other Precision Products, Chap. 8, S. 265. Marcel Dekker, New York (2001)
[15]
Bügler, J., Frickinger, J., Zielonka, G., Pfitzner, L., Ryssel, H., Schottler, M.: In: Kissinger, G., Weiland, L.H. (Hrsg.) Proc. SPIE. 4406, 82 ff (2001)
[16]
Grassmann, P., Widmer, H.: Einführung in die thermische Verfahrens- technik, 2. Aufl., S. 133 ff. Verlag Walter de Gruyter, Berlin (1974)
[17]
Levenspiel, O.: Reaction Engineering, 3. Aufl., S. 523 ff (1999)
[18]
Bäro, Höchsteffiziente Luftreinigung und Geruchsbeseitigung – Bahnbrechende Technologie (2008)
[19]
M + W Products GmbH, Frank Hoedle, persönliche Mitteilung
[20]
Kames, J.: In: Gail, L., Gommel U., Weissieker, H. (Hrsg.) Projektplanung Reinraumtechnik, S. 212 ff. Hüthig, Heidelberg (2009)
[21]
Kramer, H.: Angewandte Baudynamik, Grundlagen und Beispiele für Studium und Praxis. Ernst & Sohn, S. 15. ISBN 978-3-433-01823-1 (2007)
[22]
Knaebel, M.: Technische Schwingungslehre, Teubner Studienskripten, 4. Aufl., S. 31. ISBN 3-519-30074-5 (1987)
[23]
Knaebel, M.: Technische Schwingungslehre, Teubner Studienskripten, 4. Aufl., S. 90. ISBN 3-519-30074-5 (1987)
[24]
Carlsson, U.: Noise and vibration aspects on railway goods transportation, Järnvägsgruppen KTH Marcus Wallenberg Laboratoriet 2003-07-02, Rapport 0506E (2003)
[25]
Busch, T., Gendreau, M., Amick, H.: Colin Gordon & Associates, Vibration and noise criteria used to evaluate environmental impacts of transportation projects on sensitive facilities. Proc. SPIE. 5933, Bellingham (2005). doi:10.1117/12.618284
[26]
Kramer, H.: Angewandte Baudynamik, Grundlagen und Beispiele für Studium und Praxis, S. 54. Ernst & Sohn, ISBN 978-3-433-01823-1 (2007)
[27]
DIN ISO 1940 Teil 1 Anforderungen an die Auswuchtgüte starrer Rotoren. Beuth, Berlin (1993)
[28]
ISO 14694 Industrial Fans-Specifications for balance quality and vibration levels, 1. Aufl. (2003)
[29]
Institute of Environmental Sciences and Technology (IEST): IEST-RP-CC012.3 Considerations in Cleanroom Design (February 2015)
[30]
[31]
Kramer, H.: Angewandte Baudynamik, Grundlagen und Beispiele für Studium und Praxis, S. 144. Ernst & Sohn, ISBN 978-3-433-01823-1 (2007)
[32]
Hering, E., Stohrer, M.: Physik für Ingenieure, 3. Aufl., S. 515. VDI, Düsseldorf (1989)
[33]
Kramer, H.: Angewandte Baudynamik, Grundlagen und Beispiele für Studium und Praxis, S. 204. Ernst & Sohn, ISBN 978-3-433-01823-1 (2007)
[34]
Amick, H., Xu, T., Gendreaux, M.: Colin Gordon & Associates, The role of buildings and slabs-on-grade in the suppression of low-amplitude ambient ground vibrations. Proceedings of the 11th International Conference on Soil Dynamics & Earthquake Engineering, S. 877–881, Berkeley, CA, 7–9 January 2004
[35]
Kramer, H.: Angewandte Baudynamik, Grundlagen und Beispiele für Studium und Praxis, S. 209. Ernst & Sohn, ISBN 978-3-433-01823-1 (2007)
[36]
Haupt, W.: Vibration Isolation in the Soil, VDI Berichte 2063, 3. Fachtagung Baudynamik Kassel 2009, Tagungsband S. 299, ISBN 978-3-18-092063-4 (2009)
[37]
IEST-RP-DTE012.1: Handbook for Dynamic Data Acquisition and Analysis, S. 165 ff. ISBN 1-877862-47-9
[38]
Elektromagnetische Felder im Alltag; LUBW Landesanstalt für Umwelt, Messungen und Naturschutz, 1. Aufl. Baden-Württemberg (2009)
[39]
Hering, E., Stohrer, M.: Physik für Ingenieure, 3. Aufl., S. 258. VDI, Düsseldorf (1989)
[40]
Gerthsen, C., Kneser, H.O., Vogel, H.: Physik, 15. Aufl., S. 286. Springer, Berlin (1986)CrossRef
[41]
abc Physik; VEB F.A., 1. Aufl., Bd. 1, S. 18. Brockhaus, Leipzig (1972)
[42]
Hering, E., Stohrer, M.: Physik für Ingenieure, 3. Aufl., S. 286. VDI, Düsseldorf (1989)
[43]
[44]
[45]
Hering, E., Stohrer, M.: Physik für Ingenieure, 3. Aufl., S. 340. VDI, Düsseldorf (1989)
[46]
Gerthsen, C., Kneser, H.O., Vogel, H.: Physik, 15. Aufl., S. 396. Springer, Berlin (1986)CrossRef
[47]
[48]
Gerthsen, C., Kneser, H.O., Vogel, H.: Physik, 15. Aufl., S. 404. Springer, Berlin (1986)CrossRef
[49]
Federal Communications Commission Office of Engineering & Technology, „Evaluating Compliance with FCC Guidelines for Human Exposure to Radiofrequency Electromagnetic Fields“, OET Bulletin 65 Edition 97-01, August 1997, S. 19 ff (1997)
[50]
[51]
Vladimir Kraz Credence Technologies „EMI Issues in Semiconductor Manufacturing Environment“, presented at Taiwan ESD Symposium (2006)
[52]
Kincaid, J.E., McGregor, M.A.: CRS Sirene Engineers „Electrical noise considerations in facility/plant design“. Elsevier Science Publishers B. V. (1993)
[53]
Muller, D.A.,Grazul, J.: Bel Labs Lucent Technologies „Optimizing the environment for sub-0.2 nm scanning transmission electron microscopy“. J. Electron Microsc. 50(3), 219–226 (2001)
[54]
Tracy Carbasho Mitigating EMI/RFI in Imaging and Nanotechnology Research Environments Sensitive Imaging Equipment Requires Special Consideration, Copyright 2010 Tradeline Inc. ISSN: 1096-4894, Published August (2006)
[55]
Richtlinie 2013/35/EU über Mindestvorschriften zum Schutz von Sicherheit und Gesundheit der Arbeitnehmer vor der Gefährdung durch physikalische Einwirkung (elektromagnetischer Felder)
[56]
Rongen, E. van: Health Council of the Netherlands „EMF and Health – State of the Science“ International Conference on EMF-From Bioeffects to Legislation, S. 8 and 9. Slovenia, Lubljana (2004)
[57]
Du,Y., Burnett, J.: ELF magnetic fields from nonarmoured multi-core power cables. IEE Proc. Sci. Meas. Technol. 146(1) (1999)CrossRef
[58]
LUBW Landesanstalt für Umwelt, Messungen und Naturschutz Baden-Württemberg Elektromagnetische Felder im Alltag, ISBN 978-3-88251-341-7 Juni 2009, 1. Aufl. (12.000) (2009)
[59]
Optimale Auswahl und Betriebsweise von Vorschaltgeräten für Leuchtstofflampen; Herausgeber: Deutsches Kupferinstitut; Erschienen im ep Elektropraktiker HUSS-MEDIEN GmbH, 10400 Berlin Heft 11/03, Heft 04/05, Heft 11/06, Heft 12/06
[60]
Schauer, M.: Handelskammer Unterfranken Vorschaltgeräte für Leuchtstofflampen. Seminar: Feldmessungen an Büroarbeitsplätzen Würzburg (2006)
[61]
Exposure to high frequency electromagnetic fields, biological effects and health consequences (100 kHz–300 GHz) – Review of the Scientific Evidence and Health Consequences. Table I.3.1 Munich: International Commission on Non-Ionizing Radiation Protection. ISBN 978-3-934994-10-2 (2009)
[62]
Test DECT Telefone „Call nie“ Ökotest 2/2006
[63]
[64]
SEMI E33-1012 Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Electromagnetic Compatibility (EMC)
[65]
IEC 61000-2-4 Electromagnetic Compatibility (EMC) – Part 2–4: Environment – Comaptibility levels in industrial plants for low-frequency conducted disturbances, Second edition 2002-06 (2002) update in work
[66]
[67]
Schauer, M.: Prinzipbedingte Fehlströme und Magnetfelder in TN-C und TN-C-S-Systemen, 5.EMV-Tagung des VDB März 2006, Tagungsband ISBN 3-9810359-1-7, Herausgeber Berufsverband Deutscher Baubiologen VDB e. V., AnBUS e. V. Verlag, ab S. 61 (2006)
[68]
Hans, A.: Wolfsperger Elektromagnetische Schirmung Theorie und Praxisbeispiele. Springer. ISBN 978-3-540-76912-5 (2008)
[69]
Simola, J.: Wall Element for a magnetically shielded room and magnetically shielded room, World Intellectual Property Organization. 17. July 2003 WO 03/059030 A1 (2003)
[70]
Gralla, G.: Aktive Magnetfeldkompensation Eine Methode zur Reduktion magnetischer Feldstärken in Wohnungen und Häusern. Z. Gesünder. Wohnen & bauen. 38, 26–27 (1997)
[71]
Hering, E., Stohrer, M.: Physik für Ingenieure, 3. Aufl., S. 297. VDI, Düsseldorf (1989)
[72]
Gerthsen, C., Kneser, H.O., Vogel, H.: Physik, 15. Aufl., S. 334. Springer, Berlin (1986)CrossRef
[73]
Physik für Ingenieure Hering, Martin, Stohrer, 3. Aufl., S. 293. VDI
[74]
Gerthsen, C., Kneser, H.O., Vogel, H.: Physik, 15. Aufl., S. 351. Springer
[75]
DIN EN 50383 VDE 0848 Grundnorm für die Berechnung und Messung der elektromagnetischen Feldstärke und SAR in Bezug auf die Sicherheit von Personen in elektromagnetischen Feldern von Mobilfunk-Basisstationen und stationären Teilnehmergeräten von schnurlosen Telekommunikationsanlagen (110 MHz bis 40 GHz); Deutsche Fassung EN 50383 (2011-06)
[76]
Fundamentals of Electrostatic Discharge; Part one, An Introduction to ESD, S. 6. ESD Association, Rome (2001)
[77]
Fundamentals of Electrostatic Discharge; Part one, An Introduction to ESD, S. 7, 8. ESD Association, Rome (2001)
[78]
Gerthsen, C., Kneser, H.O., Vogel, H.: Physik, 15. Aufl., S. 286. Springer, Berlin (1986)CrossRef
[79]
Measurement of the effects of a static control program on ESA in the photolithographic process; Lawrence B.Levit; Ion Systems; Andrew C. Rudack SEMATECH; Semicon West (2000)
[80]
Brown, R., Levit, L.: ICCCS Proceedings, Bonn, Germany, Measuring the PWP of the Handling Component of a Cryogenic Cleaning Tool (2004)
[81]
Deposition of Submicron Aerosol Particles During Integrated Circuit Manufacturing: Experiments; Wu, J.J., Miller, R.J., Cooper, D.W.: IBM Research Division Yorktown Heights, NY. Flynn, J.F., Delson, D.J., Teagle, R.E.: IBM East Fishkill Facility Hopewell Junction, NY 12533, J. Environ. Sci. (1989)
[82]
abc Physik; VEB F.A, 1. Aufl., Bd. 1, S. 1121. Brockhaus, Leipzig (1972)
[83]
abc Physik; VEB F.A, 1. Aufl., Bd. 1, S. 1761. Brockhaus, Leipzig (1972)
[84]
Electrical breakdown and ESD phenomena for devices with nanometer-to-micron gaps, Al Wallash and Larry Levit, Proceedings of SPIE Vol. 4980 (2003)
[85]
Estimation of the field induced damage thresholds in reticles, Gavin Raider, Mictrotome Precision, Semiconductor Manufacturing Magazine, February (2004)
[86]
The Basics of Air Ionization for High Technology Manufacturing Applications, Arnold Steinman, Compliance Engineering (2006)
[87]
SEMI E43-0301: Guide for measuring static charge on objects and surfaces (2001)
Metadaten
Titel
Spezielle Kontaminationsquellen
verfasst von
Martin Schottler
Wolfgang Eißler
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Reinraumtechnik

Print ISBN: 978-3-662-54914-8

Electronic ISBN: 978-3-662-54915-5

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_10

Premium Partner

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen. 

    Zur Marktübersicht
    Bildnachweise