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Journal of Materials Science
Erschienen in: Journal of Materials Science 20/2010

01.10.2010

Stability of the nitrogen-deficient Ti2AlN x MAX phase in Ar2+-irradiated (Ti,Al)N/Ti2AlN x multilayers

verfasst von: M. Bugnet, T. Cabioc’h, V. Mauchamp, Ph. Guérin, M. Marteau, M. Jaouen

Erschienen in: Journal of Materials Science | Ausgabe 20/2010

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Abstract

The effects of 100 keV Ar2+ ion irradiation on the structure and stability of multilayered dc sputtered and annealed thin films of (Ti,Al)N/Ti2AlN x have been investigated with X-ray diffraction and transmission electron microscopy. It is shown that the multilayer structure is preserved as well as the crystalline structures of both components. This demonstrates a high tolerance of the Ti2AlN x MAX phase in multilayers to damage induced by nuclear elastic interactions. It is suggested that damage recovery may originate from native nitrogen vacancies and from the interfaces that act as sinks for point defects, like Frenkel pairs, created during the irradiation.
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Metadaten
Titel
Stability of the nitrogen-deficient Ti2AlN x MAX phase in Ar2+-irradiated (Ti,Al)N/Ti2AlN x multilayers
verfasst von
M. Bugnet
T. Cabioc’h
V. Mauchamp
Ph. Guérin
M. Marteau
M. Jaouen
Publikationsdatum
01.10.2010
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science / Ausgabe 20/2010
Print ISSN: 0022-2461
Elektronische ISSN: 1573-4803
DOI
https://doi.org/10.1007/s10853-010-4615-0

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