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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 8/2013

01.08.2013 | Technical Paper

Surface acoustic wave based sensors employing ionic liquid for hydrogen sulfide gas detection

verfasst von: Yoshinobu Murakawa, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Yuichiro Hamate, Hiroki Kuwano

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 8/2013

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Abstract

This paper describes a new type hydrogen sulfide (H2S) gas sensor using ionic liquid (IL). In this sensor, a reservoir for the IL was integrated on a surface acoustic wave (SAW) resonator. The IL serves as an absorber for H2S gas. Mass change due to this absorption is detected as shift in the resonant frequency. In this study, we fabricated and demonstrated the sensor using the lithium niobate (LiNbO3) SAW resonator with the resonant frequency of 38 MHz. The integrated reservoir was filled by the IL 1-butyl-3-methylimidazolium hexafluorophosphate ([bmim]-[PF6]). As an experimental result, we observed the linear correlation between the frequency-shift and the exposure time of the sensor to the H2S gas.
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Literatur
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Metadaten
Titel
Surface acoustic wave based sensors employing ionic liquid for hydrogen sulfide gas detection
verfasst von
Yoshinobu Murakawa
Motoaki Hara
Hiroyuki Oguchi
Yuichiro Hamate
Hiroki Kuwano
Publikationsdatum
01.08.2013
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 8/2013
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-012-1732-5

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