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Erschienen in: Polymer Bulletin 5/2005

01.11.2005

Synthesis, Characterization and Lithography Performance of Photoacid Generator with Short Perfluoroalkyl Anion

verfasst von: Kyung-Min Kim, Ramakrishnan Ayothi, Christopher K. Ober

Erschienen in: Polymer Bulletin | Ausgabe 5/2005

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Metadaten
Titel
Synthesis, Characterization and Lithography Performance of Photoacid Generator with Short Perfluoroalkyl Anion
verfasst von
Kyung-Min Kim
Ramakrishnan Ayothi
Christopher K. Ober
Publikationsdatum
01.11.2005
Erschienen in
Polymer Bulletin / Ausgabe 5/2005
Print ISSN: 0170-0839
Elektronische ISSN: 1436-2449
DOI
https://doi.org/10.1007/s00289-005-0444-8

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