Thermische Stabilisierung von Meßschaltungen in Dickschicht-Hybrid-Technik

Bei elektronischen Meßschaltungen, die umgebungstemperaturunabhängig hohe Meßgenauigkeit aufweisen sollen, müssen systematische und unsystematische Temperaturfehler eliminiert werden. Systematische Temperaturfehler, hervorgerufen durch z.B. temperaturabhängige Bauelementeparameter wie Stromverstärkung und Basis-Emitter-Spannungen der verwendeten Transistoren lassen sich durch entsprechende Schaltungsauslegungen oder zusätzliche Regelschaltungen weitgehend vermeiden. Unsystematische Fehler durch z.B. ungewollte Temperaturunterschiede zwischen kritischen Bauelementen und streuende temperaturabhängige Bauelementeparameter erfordern im allgemeinen Maßnahmen zur Temperatur-Homogenisierung innerhalb der Meßschaltung und darüber hinaus häufig auch den Einsatz von Temperaturstabilisierungen. für elektronische Meßschaltungen, die in Dickschicht-Hybrid- Technik aufgebaut sind, wurde eine Schaltung zur Homogenisierung und Stabilisierung der Temperatur des Al₂O₃-Substra- tes entwickelt.