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Advances in Manufacturing
Erschienen in: Advances in Manufacturing 1/2024

25.09.2023

Two-dimensional precise figuring of 500 mm-long X-ray mirror using one-dimensional ion beam system

verfasst von: Qiu-Shi Huang, Han-Dan Huang, Qiao-Yu Wu, Jun Yu, Zhong Zhang, Zhan-Shan Wang

Erschienen in: Advances in Manufacturing | Ausgabe 1/2024

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Abstract

In this study, a new method was developed to realize two-dimensional (2D) figure correction of grazing-incidence X-ray mirrors using a one-dimensional (1D) ion-beam figuring system. A mask of holes was specifically designed to generate removal functions at different widths and extend the figuring capability over a wide area. Accordingly, a long mirror could be manufactured. Using this method, the surface height root-mean-square (RMS) error of the center area of 484 mm ×16 mm was reduced from 11.49 nm to 2.01 nm, and the 1D meridional RMS error reached 1.0 nm. The proposed method exhibits high precision and cost effectiveness for production of long X-ray mirrors.
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Metadaten
Titel
Two-dimensional precise figuring of 500 mm-long X-ray mirror using one-dimensional ion beam system
verfasst von
Qiu-Shi Huang
Han-Dan Huang
Qiao-Yu Wu
Jun Yu
Zhong Zhang
Zhan-Shan Wang
Publikationsdatum
25.09.2023
Verlag
Shanghai University
Erschienen in
Advances in Manufacturing / Ausgabe 1/2024
Print ISSN: 2095-3127
Elektronische ISSN: 2195-3597
DOI
https://doi.org/10.1007/s40436-023-00459-9

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