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1999 | OriginalPaper | Buchkapitel

Umsetzung und Erprobung an Praxisbeispielen

verfasst von : Dr.-Ing. Jochen Schließer

Erschienen in: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Enthalten in: Professional Book Archive

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Im Rahmen der Neuentwicklung eines Fertigungsgerätes zum Reinigen und Ätzen einzelner Siliziumsubstrate sowieeiner Fertigungsanlage zum Belacken und Entwickeln von Siliziumsubstraten werden die Komponenten zur strömungstechnischen Auslegung von “Integralen” Reinheitssystemen auf ihre Praxistauglichkeit untersucht. Mit dem entwickelten Verfahren werden die realisierten “Integralen” Reinheitssysteme qualifiziert.

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Metadaten
Titel
Umsetzung und Erprobung an Praxisbeispielen
verfasst von
Dr.-Ing. Jochen Schließer
Copyright-Jahr
1999
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

Print ISBN: 978-3-540-65560-2

Electronic ISBN: 978-3-642-46882-7

Copyright-Jahr: 1999

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-46882-7_7

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