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Erschienen in:
1999 | OriginalPaper | Buchkapitel
Zusammenfassung und Ausblick
verfasst von : Dr.-Ing. Jochen Schließer
Erschienen in: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Enthalten in: Professional Book Archive
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In der Mikroelektronik werden heute unterschiedliche Produktionssysteme für “reine” Anwendungen eingesetzt. Durch die zunehmende Miniaturisierung der Strukturbreiten und durch die steigende Anzahl an Schaltkreisen je Produktfläche und Fertigungsschritt werden zukünftig noch höhere Reinheitsanforderungen an die Produktumgebung bezüglich luftgetragener Partikelverunreinigung gestellt. Die derzeitigen Produktionssysteme mit ihren reinheitsrelevanten Komponenten werden diesen Anforderungen an höchste Reinheit in unmittelbarer Produktumgebung mit minimalen Luftvolumen nicht gerecht. Die Überprüfung und Qualifizierung der Produktionssysteme als ein Gesamtsystem sind mit den derzeitig verfügbaren Meßverfahren zur Bestimmung der Reinheit in der Produktumgebung nur teilweise möglich.