Skip to main content
Fachgebiete
Automobil + Motoren Bauwesen + Immobilien Business IT + Informatik Elektrotechnik + Elektronik Energie + Nachhaltigkeit Finance + Banking Management + Führung Marketing + Vertrieb Maschinenbau + Werkstoffe Versicherung + Risiko
DE
EN
Themenseiten
Organisationspsychologie Projektmanagement Marketing Smart Manufacturing
Bücher
Zeitschriften
Weitere Formate
Podcasts Webinare Technik Webinare Wirtschaft Kongresse Veranstaltungskalender Awards
Jetzt Einzelzugang starten
Zugang für Unternehmen
Referenzkunden
MTZ-Fachkongress

Antriebe und Energiesysteme von morgen


Austausch von Automobil- und Energiewirtschaft

Am 14./15. Mai geht es in Chemnitz um die Mobilitätswende durch Elektro- und Wasserstofffahrzeuge.
Erweiterte Suche
Anmelden
nach oben
Glass and Ceramics
Erschienen in: Glass and Ceramics 3-4/2019

01.08.2019 | AT ENTERPRISES AND INSTITUTES

Use of Alkaline Glass in Micromechanical Sensor Structures

verfasst von: V. E. Pautkin

Erschienen in: Glass and Ceramics | Ausgabe 3-4/2019

Einloggen

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Abstract

The use of alkali glass in micromechanical sensors, specifically, accelerometers, is shown. Alkali glass is used in the sensitive elements of the indicated devices. The main technological operation in the assembly of such sensitive elements is electrostatic bonding, also known as the anodic bonding. In this process a number of complex physical effects occur in the glass. Reliable functioning of the fabricated devices depends on the quality of the execution of the parts made of alkali glass and silicon.
Vorheriger Artikel Formation of Zr–La–O Oxide Phases in the Thermochemical Transformation of Modified Zirconium Hydroxide
Nächster Artikel Mechanochemical Oxidation of Aluminum: Formation of the Porous Structure of Aluminum Hydroxides and Oxides

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren
Literatur
1.
GOST R 8.596–2002. State System Ensuring Traceability of Measurements. Metrological Provision of Measuring Systems. The Main Provisions [in Russian], Standardinform, Moscow (2002).
2.
E. A. Mokrov and A. A. Papko, “Accelerometers of the Research Institute for Physical Measurements—elements of microsystem engineering,” Mikrosistemnaya Tekhnika, No. 1, 3 (2002).
3.
S. A. Kozin, A. V. Fedulov, and V. E. Pautkin, “Development of technology and special equipment for joining silicon with glass in a high-voltage field,” Datchiki i Sistemy, No. 9, 46 – 47 (2005).
4.
N. L. Glinka, General Chemistry [in Russian], Yurait, Moscow (2015).
5.
B. M. Yavorskii and A. A. Detlaf, Physics Handbook for Engineers and University Students [in Russian], Oniks, Moscow (2006).
6.
A. N. Tabenkin, S. B. Tarasov, and S. N. Stepanov, Roughness, Waviness, Profile: International Experience [in Russian], Izd. Politekh. Univer., St. Petersburg (2007).
7.
E. P. Prokop’ev, S. P. Timoshenkov, A. L. Suvorov, et al., Features of the Technology for Manufacturing SOI Structures by Direct Splicing and Quality Control of Silicon Wafers [in Russian], Institute of Theoretical and Experimental Physics, Moscow (2000).
Metadaten
Titel
Use of Alkaline Glass in Micromechanical Sensor Structures
verfasst von
V. E. Pautkin
Publikationsdatum
01.08.2019
Verlag
Springer US
Erschienen in
Glass and Ceramics / Ausgabe 3-4/2019
Print ISSN: 0361-7610
Elektronische ISSN: 1573-8515
DOI
https://doi.org/10.1007/s10717-019-00151-0

Weitere Artikel der Ausgabe 3-4/2019

Glass and Ceramics 3-4/2019 Zur Ausgabe

COATINGS

Liquid-Glass Radiation-Resistant Thermal-Control Coating

FACTORY EXPERIENCE

Investigation of the Causes and Determination of Critical Mechanical Actions on Pins in Metal-Glass Articles Resulting in Loss-of-Tightness

SCIENCE FOR GLASS PRODUCTION

Laser Writing of Polarization-Sensitive Birefringence in Sodium-Borosilicate Glass

OriginalPaper

Chemical, Phase Compositions and Porosity Structure of the Plinth Brick of the White Tower (Greece) of Age Greater Than 450 Yr

OriginalPaper

Formation of Zr–La–O Oxide Phases in the Thermochemical Transformation of Modified Zirconium Hydroxide

News

Glass and Ceramics Volume 76, Number 3

Premium Partner

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen. 

    Zur Marktübersicht
    Bildnachweise