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Microsystem Technologies

Erschienen in:

01.10.2014 | Technical Paper

3D nanometer features by ultra precision machining

verfasst von: Kurt Haskic, Stefan Kühne, Bernd Löchel, Martin Schmidt

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 10-11/2014

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Abstract

Until now grating machines were mainly used to produce high-resolution mechanically divided gratings by scratching the structures in thin metal layers. Hereinafter, a new method is presented to produce echelette as well as echelle gratings on curved substrate surfaces. This is achieved with a modified planing procedure whereupon there are no limits to the maximum structure height.

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Titel: 3D nanometer features by ultra precision machining
verfasst von: Kurt Haskic
Stefan Kühne
Bernd Löchel
Martin Schmidt
Publikationsdatum: 01.10.2014
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in: Microsystem Technologies / Ausgabe 10-11/2014
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI: https://doi.org/10.1007/s00542-013-2059-6

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