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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2015

01.05.2015 | Technical Paper

A complete analytical model for circular diaphragm pressure sensor with freely supported edge

verfasst von: Sumit Kumar Jindal, Sanjeev Kumar Raghuwanshi

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2015

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Abstract

Microelectromechanical systems (MEMS) pressure sensors have been designed and characterized. Initially deflection, stress and strain of the pressure sensor are computed based on mechanics of diaphragm structure for circular shape in accordance with the theory of elasticity. The results have been simulated to define and understand the importance of various impact parameters such as sensitivity, optimization of resistor length etc. Moreover the present work also demonstrates the design of MEMS pressure sensor using solidworks. It allows detailed visualization of the parameters computed and supports the theory undertaken.
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Literatur
Bae B et al (2004) Design optimization of a piezoresistive pressure sensor considering the output signal-to-noise ratio. J Micromech Microeng 14:1597–1607CrossRef
Eaton WP et al (1999) A new analytical solution for diaphragm deflection and its application to a surface-micromachined pressure sensor. International conference on modelling and simulation of microsystems
Hao-jiang D et al (2005) Analytical solutions for a uniformly loaded circular plate with clamped edges. J Zhejiang Univ Sci A 6(10):1163–1168
Jindal SK, Raghuwanshi SK (2013) A complete analytical model for circular diaphragm pressure sensor with clamped edge.i-manager’s. J Circuit Syst 1(2):19–27
Khakpour R et al (2010) Analytical comparison for square, rectangular and circular diaphragms in MEMS applications. International conference on electronic devices. Systems and applications 297–299
Lin L, Yun W (1998) MEMS pressure sensors for aerospace applications. IEEE 0-7803-4311-5/98, 429–436
Lin L et al (1999) A simulation program for the sensitivity and linearity of piezoresistive pressure sensors. J Micro-electromech Syst 8:514–522CrossRef
Ross CTF (1999) Strength of material and structure, 4th edn. Arnold, London
Smith CS (1954) Piezoresistive effect in germanium and silicon. Phys Rev 94:42–49CrossRef
Timoshenko SP, Woinowsky-Kreiger S (1959) Theory of plates and shells, 2nd edn. McGraw Hill, New York
Metadaten
Titel
A complete analytical model for circular diaphragm pressure sensor with freely supported edge
verfasst von
Sumit Kumar Jindal
Sanjeev Kumar Raghuwanshi
Publikationsdatum
01.05.2015
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2015
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-014-2144-5

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