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Journal of Materials Science: Materials in Electronics

Erschienen in:

01.09.2013

Annealing of laser patterned PMMA coated with gold and gallium

verfasst von: O. Lyutakov, J. Tuma, Y. Kalachyova, I. Huttel, V. Prajzler, V. Svorcik

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 9/2013

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Abstract

Poly(methyl methacrylate) (PMMA) surface was patterned by laser scanning and Ga and Au layers of different thicknesses were sputtered onto modified polymer surface. The metal/PMMA structures were annealed at 160 °C for 1 h and the changes in the surface morphology were examined by AFM and STM techniques. It was found that sufficiently thick and continuous metal coverage protect the underlying pattern structure.

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Titel: Annealing of laser patterned PMMA coated with gold and gallium
verfasst von: O. Lyutakov
J. Tuma
Y. Kalachyova
I. Huttel
V. Prajzler
V. Svorcik
Publikationsdatum: 01.09.2013
Verlag: Springer US
Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 9/2013
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI: https://doi.org/10.1007/s10854-013-1282-3

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