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Erschienen in:
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2006 | OriginalPaper | Buchkapitel

Boron Nitride Thin Layers Prepared Using a Krypton Fluoride Excimer Laser

verfasst von : Robert Kosydar, Waldemar Mroz, Miroslav Jelinek, Thomas Kocourek

Erschienen in: Functional Properties of Nanostructured Materials

Verlag: Springer Netherlands

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Boron nitride thin layers were fabricated by the pulsed laser deposition technique using a KrF excimer laser. In order to improve stoichiometry, a radio frequency discharge generator was additionally applied.

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Metadaten
Titel
Boron Nitride Thin Layers Prepared Using a Krypton Fluoride Excimer Laser
verfasst von
Robert Kosydar
Waldemar Mroz
Miroslav Jelinek
Thomas Kocourek
Copyright-Jahr
2006
Verlag
Springer Netherlands
Buch
Functional Properties of Nanostructured Materials

Print ISBN: 978-1-4020-4595-0

Electronic ISBN: 978-1-4020-4594-3

Copyright-Jahr: 2006

DOI
https://doi.org/10.1007/1-4020-4594-8_21

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