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Erschienen in:
Die Gesamtverantwortung des Managements bei Komplexen Veränderungsprozessen Durch Mikroelektronikeinsatz Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

1985 | OriginalPaper | Buchkapitel

Das Au/Ni-Dickschichtthermoelement

Ein neuer Miniaturtemperatursensor

verfasst von : Thomas F. E. Walla

Erschienen in: Mikroelektronik in Österreich

Verlag: Springer Vienna

Enthalten in: Professional Book Archive

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Im Rahmen dieser Mitteilung wird ein neuer Mi ni aturtemperatursensor — das Au/Ni- Dickschichtthermoelement — und seine elektrischen Eigenschaften besprochen. Darüberhi naus werden die bei der Herstellung dieses Sensors auftretenden werkstoffkundI ichen und technologischen Probleme diskutiert.

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Metadaten
Titel
Das Au/Ni-Dickschichtthermoelement
verfasst von
Thomas F. E. Walla
Copyright-Jahr
1985
Verlag
Springer Vienna
Buch
Mikroelektronik in Österreich

Print ISBN: 978-3-211-81893-0

Electronic ISBN: 978-3-7091-8821-7

Copyright-Jahr: 1985

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8821-7_52

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