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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2012

01.05.2012 | Technical Paper

Fabrication of PZT nano dot array and their ferroelectric properties

verfasst von: Gaoyang Zhao, Zhezhe Wang, Guomin Xu, Xiaocui Deng

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2012

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Abstract

This paper demonstrates a promising and low-cost method for fabricating PZT nano-dot array by using sol–gel template method combined with laser interference lithography. ZrO2 template with the pitch of 1 μm is firstly fabricated by sol–gel method and laser interference with a 325 nm He-Cd laser. Afterwards, PZT nano dot array with diameter of 500 nm and thickness of 20 nm is prepared on the ZrO2 template. Atomic force microscope results show that the PZT nano dot array is uniform and highly ordered. Ferroelectric properties of PZT nano dot array are in situ measured through online-operation of TF analyzer and AFM. A ferroelectric hysteresis loop is obtained for the PZT nano dot.
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Metadaten
Titel
Fabrication of PZT nano dot array and their ferroelectric properties
verfasst von
Gaoyang Zhao
Zhezhe Wang
Guomin Xu
Xiaocui Deng
Publikationsdatum
01.05.2012
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2012
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-012-1479-z

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