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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 9/2009

01.09.2009 | Technical Paper

Indirectly heated micro-electrothermal actuator with a monolithically integrated displacement sensor

verfasst von: Kongying Xie, Yongjun Lai

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 9/2009

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Abstract

In this article, an indirectly heated micro-electrothermal actuator is presented. The actuator has a capacitive sensor monolithically integrated to provide in vivo sensing of the actuator’s displacement. The actuator and sensor are fabricated using the PolyMUMPs process. Electrothermal and thermal-mechanical models of the actuator have been developed. Simulated displacement versus input current reasonably agrees with tested results. The integrated capacitive sensor readout is an indicator for the displacement.
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Metadaten
Titel
Indirectly heated micro-electrothermal actuator with a monolithically integrated displacement sensor
verfasst von
Kongying Xie
Yongjun Lai
Publikationsdatum
01.09.2009
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 9/2009
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-009-0899-x

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