Skip to main content
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2009

01.05.2009 | Technical Paper

Analysis of the nonlinear dynamic stability for an electrically actuated viscoelastic microbeam

verfasst von: Y. M. Fu, Jin Zhang, R. G. Bi

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2009

Einloggen

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Abstract

In this article, based on the standard linear solid model, the Euler-Bernoulli hypothesis and the Galerkin method, an analysis of the nonlinear dynamic stability for a clamped-guided viscoelastic microbeam under both a periodic axial force and a symmetric electrostatic load is presented. By using the incremental harmonic balanced method, the boundary of the principal region of instability is got. In the numerical calculation, the effect of the environmental and inner damping, geometric nonlinear, creep quantity and the symmetric electrostatic load on the principal region of instability is discussed.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Literatur
Zurück zum Zitat Abu-Salih S, Elata D (2004) The effect of internal stress on the electromechanical buckling of a clamped-clamped beam. Proc Eur Micro Nano Syst 2004:93–96 Abu-Salih S, Elata D (2004) The effect of internal stress on the electromechanical buckling of a clamped-clamped beam. Proc Eur Micro Nano Syst 2004:93–96
Zurück zum Zitat Flügge W (1975) Viscoelasticity, 2nd edn. Springer, New YorkMATH Flügge W (1975) Viscoelasticity, 2nd edn. Springer, New YorkMATH
Zurück zum Zitat Lau SL, Cheung YK, Wu SY (1982) A variable parameter incrementation method for dynamic instability of linear and nonlinear elastic systems. J Appl Mech 49:849–853MATHCrossRef Lau SL, Cheung YK, Wu SY (1982) A variable parameter incrementation method for dynamic instability of linear and nonlinear elastic systems. J Appl Mech 49:849–853MATHCrossRef
Zurück zum Zitat Osterberg PM, Senturia SD (1997) M-TEST: a test chip for MEMS material property measurement using electrostatically actuated test structures. J Microelectromech Syst 6(2):107–118. doi:10.1109/84.585788 CrossRef Osterberg PM, Senturia SD (1997) M-TEST: a test chip for MEMS material property measurement using electrostatically actuated test structures. J Microelectromech Syst 6(2):107–118. doi:10.​1109/​84.​585788 CrossRef
Zurück zum Zitat Pelesko JA, Bernstein DH (2003) Modeling MEMS and NEMS. Chapman& Hall/CRC, Boca RatonMATH Pelesko JA, Bernstein DH (2003) Modeling MEMS and NEMS. Chapman& Hall/CRC, Boca RatonMATH
Zurück zum Zitat Sasayama T, Suzuki S, Tsuchitani S, Koide A, Suzuki M, Ichikawa N, Nakazawa T (1996) Highly reliable silicon micromachined physical sensors in mass production. Sensor Actuator A 54:714–717. doi:10.1016/S0924-4247(97)80044-1 CrossRef Sasayama T, Suzuki S, Tsuchitani S, Koide A, Suzuki M, Ichikawa N, Nakazawa T (1996) Highly reliable silicon micromachined physical sensors in mass production. Sensor Actuator A 54:714–717. doi:10.​1016/​S0924-4247(97)80044-1 CrossRef
Metadaten
Titel
Analysis of the nonlinear dynamic stability for an electrically actuated viscoelastic microbeam
verfasst von
Y. M. Fu
Jin Zhang
R. G. Bi
Publikationsdatum
01.05.2009
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2009
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-009-0791-8

Weitere Artikel der Ausgabe 5/2009

Microsystem Technologies 5/2009 Zur Ausgabe

Neuer Inhalt