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Semiconductors
Erschienen in: Semiconductors 4/2017

01.04.2017 | Microcrystalline, Nanocrystalline, Porous, and Composite Semiconductors

Anodic processes in the chemical and electrochemical etching of Si crystals in acid-fluoride solutions: Pore formation mechanism

verfasst von: V. P. Ulin, N. V. Ulin, F. Yu. Soldatenkov

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 4/2017

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Metadaten
Titel
Anodic processes in the chemical and electrochemical etching of Si crystals in acid-fluoride solutions: Pore formation mechanism
verfasst von
V. P. Ulin
N. V. Ulin
F. Yu. Soldatenkov
Publikationsdatum
01.04.2017
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 4/2017
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782617040212

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