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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 12/2014

01.12.2014 | Technical Paper

Novel self-compensation method to lower the temperature drift of a quartz MEMS gyroscope

verfasst von: Lihui Feng, Wenjun Gu, Ke Zhao, Yu-nan Sun, Fang Cui, Jianmin Cui, Aiying Yang

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 12/2014

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Abstract

A new self-compensation method is proposed in this paper. The impedance of a quartz tuning fork changes along with the temperature. A digital driving circuit is designed so that the frequency can be adjusted by controlling the phase. The relationship between the driving amplitude and the temperature is captured in a digital circuit, which can reflect the temperature information. As the relationship is nonlinear, after third-order fitting, the temperature has a precision of 2.356 °C. Finally, the bias stability is optimized and the drift decreases to 1.7 %.
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Metadaten
Titel
Novel self-compensation method to lower the temperature drift of a quartz MEMS gyroscope
verfasst von
Lihui Feng
Wenjun Gu
Ke Zhao
Yu-nan Sun
Fang Cui
Jianmin Cui
Aiying Yang
Publikationsdatum
01.12.2014
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 12/2014
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-014-2113-z

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