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Friction

Erschienen in:

Open Access 01.12.2013 | Review Article

Scratch formation and its mechanism in chemical mechanical planarization (CMP)

verfasst von: Tae-Young Kwon, Manivannan Ramachandran, Jin-Goo Park

Erschienen in: Friction | Ausgabe 4/2013

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Titel: Scratch formation and its mechanism in chemical mechanical planarization (CMP)
verfasst von: Tae-Young Kwon
Manivannan Ramachandran
Jin-Goo Park
Publikationsdatum: 01.12.2013
Verlag: Tsinghua University Press
Erschienen in: Friction / Ausgabe 4/2013
Print ISSN: 2223-7690
Elektronische ISSN: 2223-7704
DOI: https://doi.org/10.1007/s40544-013-0026-y

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