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Friction

Erschienen in:

Open Access 01.12.2013 | Research Article

Y₂O₃ nanosheets as slurry abrasives for chemical-mechanical planarization of copper

verfasst von: Xingliang He, Yunyun Chen, Huijia Zhao, Haoming Sun, Xinchun Lu, Hong Liang

Erschienen in: Friction | Ausgabe 4/2013

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Titel: Y2O3 nanosheets as slurry abrasives for chemical-mechanical planarization of copper
verfasst von: Xingliang He
Yunyun Chen
Huijia Zhao
Haoming Sun
Xinchun Lu
Hong Liang
Publikationsdatum: 01.12.2013
Verlag: Tsinghua University Press
Erschienen in: Friction / Ausgabe 4/2013
Print ISSN: 2223-7690
Elektronische ISSN: 2223-7704
DOI: https://doi.org/10.1007/s40544-013-0017-z

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