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Erschienen in: Microsystem Technologies 7/2015

01.07.2015 | Technical Paper

The thermal-mechanical performance of the uncooled infrared optical-readout bi-material FPA

verfasst von: Kong Yan-mei, Liu Rui-wen, Jiao Bin-bin, Lu Di-ke, Zhu En-cheng, Fu Qiang-sheng, Chen Da-peng

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 7/2015

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Abstract

This paper analyzed the thermal-mechanical performance of the optical-readout bi-material infrared focal array plane (IR-FPA), mainly on the pixel non-uniformity phenomenon. Based on the Fraunhöfer diffraction theory, the model of the initial angle inconformity among the pixels due to the processing bias was presented, the result shows that the initial angle tolerance of pixels must be kept within 0.358° for the 49.5 × 49.5 μm2 pixel. The intensity of the image corresponding to different reflect angles of pixels was tested using the 360° horizontal rotary micro displacement stage driven by stepped motor. And the result agrees with the theoretical calculation. Furthermore, the thermal-mechanic sensitivity S T and dynamic range of the object temperature (blackbody) was also computed, which affords new reference for the research and manufacture of the optical read-out IR-FPA process.

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Literatur
Zurück zum Zitat Grbovic D, Laveik NV, Rajic S (2008) Arrays of SiO2 substrate-free micromechanical uncooled infrared and terahertz detectors. J Appl Phys 104:054508-1–7. doi:10.1063/1.2959574 Grbovic D, Laveik NV, Rajic S (2008) Arrays of SiO2 substrate-free micromechanical uncooled infrared and terahertz detectors. J Appl Phys 104:054508-1–7. doi:10.​1063/​1.​2959574
Zurück zum Zitat Kwon HW, Son HJ, Kim DS, Hwang CH, Lee YS, Yu BG, Lee HC (2009) A cantilever-type uncooled infrared detector with high fill-factor and low-noise characteristic. IEEE Electron Device Lett 30(6):635–637. doi:10.1109/LED.2009.2013221 Kwon HW, Son HJ, Kim DS, Hwang CH, Lee YS, Yu BG, Lee HC (2009) A cantilever-type uncooled infrared detector with high fill-factor and low-noise characteristic. IEEE Electron Device Lett 30(6):635–637. doi:10.​1109/​LED.​2009.​2013221
Zurück zum Zitat Varesi J, Lai J, Perazzo T, Shi Z, Majumdar A (1997) Photothermal measurements at picowatt resolution using uncooled micro-optomechanical sensors. Appl Phys Lett 71(3):306–308. doi:10.1063/1.120440 CrossRef Varesi J, Lai J, Perazzo T, Shi Z, Majumdar A (1997) Photothermal measurements at picowatt resolution using uncooled micro-optomechanical sensors. Appl Phys Lett 71(3):306–308. doi:10.​1063/​1.​120440 CrossRef
Zurück zum Zitat Kong Y, Liu R, Jiao B, Chen D (2011) Infrared camera based on optical-readout bi-material FPA. Proc SPIE 8193:81930X-1-4. doi:10.1117/12.899491 Kong Y, Liu R, Jiao B, Chen D (2011) Infrared camera based on optical-readout bi-material FPA. Proc SPIE 8193:81930X-1-4. doi:10.​1117/​12.​899491
Zurück zum Zitat Zhao Y, Mao M (2002) Optomechanical uncooled infrared imaging system: design, microfabrication, and performance. J Microelectromech Syst 11(2):136–146. doi:10.1109/84.993448 CrossRef Zhao Y, Mao M (2002) Optomechanical uncooled infrared imaging system: design, microfabrication, and performance. J Microelectromech Syst 11(2):136–146. doi:10.​1109/​84.​993448 CrossRef
Metadaten
Titel
The thermal-mechanical performance of the uncooled infrared optical-readout bi-material FPA
verfasst von
Kong Yan-mei
Liu Rui-wen
Jiao Bin-bin
Lu Di-ke
Zhu En-cheng
Fu Qiang-sheng
Chen Da-peng
Publikationsdatum
01.07.2015
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 7/2015
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-014-2301-x

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