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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 7/2015

01.07.2015 | Technical Paper

Theoretical investigation of the mechanical coupling in a differential vibrating beam accelerometer

verfasst von: Zhen Zhou, Jie Shi, Bao-yin Yao, Li-shuang Feng

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 7/2015

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Abstract

The mechanical coupling between two beams which leads to a blind zone has emerged as an important issue in the design and testing of the high-precision differential vibrating beam accelerometer. This paper presents a chain-like mass-spring model for the mechanical decoupling in a differential VBA and derives the fundamental equations by matrix operation to describe their frequency behaviors. The mechanical uncoupled conditions are obtained and their potential applications on the differential VBA are analyzed. The blind zone performance of the differential VBA is studied and the more realistic design rules for reducing the blind zone and the common parasitic sensitivities simultaneously are obtained.
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Literatur
Bouniol P (LRBA), Janiaud D, LeTraon O, Muller S (ONERA) (1998) Performance evaluation of the VIA accelerometer. In: Proceedings of ION National technical meeting, January 1998
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Le Traon O (2014) Device for measuring the temperature of a vibrating beam and application to the improvement of the precision of measurement of a vibrating-beam sensor US Patent 20140016666 A1, 16 Jan 2014
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Le Traon O, Janiaud D, Muller S (1999) Monolithic accelerometer Transducer US Patent no 5, 962, 786. 10 May 1999
Ren J, Fan S, Guo Z (2007) Leverage model and optimal design for micromechanical resonant accelerometer [J]. Microanoelectron Technol (7/8):17–19
Metadaten
Titel
Theoretical investigation of the mechanical coupling in a differential vibrating beam accelerometer
verfasst von
Zhen Zhou
Jie Shi
Bao-yin Yao
Li-shuang Feng
Publikationsdatum
01.07.2015
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 7/2015
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-014-2224-6

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