01.01.2008 | Technical Paper
Asymmetric surface roughness measurements and meniscus modeling of polysilicon surface micromachined flaps
Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 1/2008
EinloggenAktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.
Wählen Sie Textabschnitte aus um mit Künstlicher Intelligenz passenden Patente zu finden. powered by
Markieren Sie Textabschnitte, um KI-gestützt weitere passende Inhalte zu finden. powered by