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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 7-8/2012

01.08.2012 | Technical Paper

Cleaning of structured templates from nanoparticle accumulation using silicone

verfasst von: S. Merzsch, H. S. Wasisto, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 7-8/2012

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Abstract

Polydimethylsiloxan (PDMS) turned out to be a simple and cost efficient material for the removal of nanoparticles from patterned surfaces. After molding the particle-laden surface using liquid silicone, surface cleaning is realized by curing the PDMS comprising the encapsulated particles and subsequent removal. The method is proven for silicon, SiO2 and gold surfaces occupied by carbon and Polytetrafluorethylen (PTFE or Teflon) particles. Samples up to 2 inch wafers were successfully cleaned. The effect of PDMS on the surface energy is verified by contact angle measurements showing a clear change in wetting for H2O. This effect is abolished by oxygen plasma and HF-Dip.
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Literatur
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Metadaten
Titel
Cleaning of structured templates from nanoparticle accumulation using silicone
verfasst von
S. Merzsch
H. S. Wasisto
A. Waag
I. Kirsch
E. Uhde
T. Salthammer
E. Peiner
Publikationsdatum
01.08.2012
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 7-8/2012
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-011-1379-7

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