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Journal of Materials Science: Materials in Electronics
Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 4/2019

25.01.2019

Cubic MgZnO thin films on sapphire substrate: effect of deposition temperature

verfasst von: Nihan Akin Sönmez

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 4/2019

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Abstract

The structural, morphological and optical properties of cubic MgZnO thin films deposited on sapphire substrates by radio frequency (RF) magnetron sputtering method at different deposition temperatures (RT, 500 °C and 800 °C) were investigated. The presence of Mg in deposited samples was confirmed through SIMS depth profile. Moreover, Mg content of the alloys was calculated using a quadratic approximation depending on band gap bowing parameter. The film deposited at 500 °C with band gap energy of 5.0 eV has better crystallinity and atomic homogeneity than the others. Both film quality and Mg atomic distribution deteriorated at 800 °C due to thermal effect on the substrate surface. The results explore the applicability of RF-sputtered cubic MgZnO thin films as an active sensor area for deep UV-based optoelectronic applications.
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Metadaten
Titel
Cubic MgZnO thin films on sapphire substrate: effect of deposition temperature
verfasst von
Nihan Akin Sönmez
Publikationsdatum
25.01.2019
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 4/2019
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-019-00700-x

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