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30.12.2015 | Technical Paper | Ausgabe 6/2017

Microsystem Technologies 6/2017

Fabrication of microfluidic structures in quartz via micro machining technologies

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 6/2017
Autoren:
Ying-Chieh Lin, Chung-Ching Lee, Heng-Sheng Lin, Zheng-Han Hong, Fu-Chuan Hsu, Tsung-Pin Hung, Yu-Ting Lyu

Abstract

Microfluidic channels have been created for quartz material using micromechanical manufacturing technologies such as micro laser machining, micro ultrasonic machining, and ultra-precision machining. Ultra-precision machining has been used to manufacture cross-junction channels 14 µm wide and 28 µm deep with a three-dimensional triangle cross-section. Micro laser machining has been used to manufacture U-shaped and https://static-content.springer.com/image/art%3A10.1007%2Fs00542-015-2717-y/MediaObjects/542_2015_2717_Figa_HTML.gif -shaped microfluidic channels. Deep holes and microfluidic channels with a high slenderness ratio (width/depth) can be obtained by using micro ultrasonic machining technology. These three machining techniques are compared with respect to surface profiles and machining quality.

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