01.05.2015 | Technical Paper
Fabrication and characterization of MEMS piezoelectric synthetic jet actuators with bulk-micromachined PZT thick film
Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2015
EinloggenAktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.
Wählen Sie Textabschnitte aus um mit Künstlicher Intelligenz passenden Patente zu finden. powered by
Markieren Sie Textabschnitte, um KI-gestützt weitere passende Inhalte zu finden. powered by