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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 8/2019

10.10.2018 | Technical Paper

A flexure motion stage system for light beam control

verfasst von: Mehdi Riza, Guangbo Hao

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 8/2019

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Abstract

This paper presents the design of an improved tip-tilt-piston compliant/flexure motion stage for steering light beam. The motion stage is actuated by three linear stepper motors in an open-loop control. Using a laser and optical setup, the completed device was tested by making it steer a laser beam, effectively demonstrating its range of movement and level of precision. The testing has proved that the new motion stage system has a maximum bidirectional rotation range of at least 2.89° with a precision and repeatability of 0.0213°, demonstrating a micro-positioning ability.
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Literatur
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Awtar S, Slocum AH, Sevincer E (2007) Characteristics of beam-based flexure modules. ASME J Mech Des 129(6):625–639CrossRef
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Metadaten
Titel
A flexure motion stage system for light beam control
verfasst von
Mehdi Riza
Guangbo Hao
Publikationsdatum
10.10.2018
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 8/2019
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-018-4168-8

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