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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 3/2013

01.03.2013 | Editorial

Special issue of the 9th high-aspect-ratio micro-structure technology workshop, HARMST 2011, in Hsinchu, Taiwan, June 12–18, 2011

verfasst von: Chien-Chung Fu, Bernd Michel

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 3/2013

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Excerpt

Dear HARMST Friends, Thank you very much for your strong supports and participations in the 9th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST 2011). This year we had ninety-three papers from 9 countries including Canada, China, France, Germany, Japan, Korea, Singapore, Taiwan and USA. Among them, 43 were presented in oral and 50 through posters. …
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Metadaten
Titel
Special issue of the 9th high-aspect-ratio micro-structure technology workshop, HARMST 2011, in Hsinchu, Taiwan, June 12–18, 2011
verfasst von
Chien-Chung Fu
Bernd Michel
Publikationsdatum
01.03.2013
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 3/2013
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-012-1731-6

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