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Friction

Erschienen in:

Open Access 01.12.2013 | Review Article

Chemical mechanical polishing: Theory and experiment

verfasst von: Dewen Zhao, Xinchun Lu

Erschienen in: Friction | Ausgabe 4/2013

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Titel: Chemical mechanical polishing: Theory and experiment
verfasst von: Dewen Zhao
Xinchun Lu
Publikationsdatum: 01.12.2013
Verlag: Tsinghua University Press
Erschienen in: Friction / Ausgabe 4/2013
Print ISSN: 2223-7690
Elektronische ISSN: 2223-7704
DOI: https://doi.org/10.1007/s40544-013-0035-x

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