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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 8/2009

01.08.2009 | Technical Paper

Sub-μm structured lotus surfaces manufacturing

verfasst von: Matthias Worgull, M. Heckele, T. Mappes, B. Matthis, G. Tosello, T. Metz, J. Gavillet, P. Koltay, H. N. Hansen

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 8/2009

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Abstract

Sub-μm structured surfaces allow modifying the behavior of polymer films or components. Especially in micro-fluidics a lotus-like characteristic is requested for many applications. Structure details with a high aspect ratio are necessary to decouple the bottom and the top of the functional layer. Unlike to stochastic methods, patterning with a LIGA-mold insert it is possible to structure surfaces very uniformly or even with controlled variations (e.g., with gradients). In this paper we present the process chain to realize polymer sub-μm structures with minimum lateral feature size of 400 nm and up to 4 μm high.
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Literatur
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Miwa M et al (2000) Effects of the surface roughness on sliding angles of water droplets on superhydrophobic surfaces. Langmuir 16(13):5754–5760. doi:10.​1021/​la991660o CrossRef
Tsibouklis J et al (2000) Poly(perfluoroalkyl methacrylate) film structures: surface organization phenomena, surface energy determinations, and force of adhesion measurements. Macromolecules 33(22):8460–8465. doi:10.​1021/​ma0008185 CrossRef
Worgull M, Hetu J-F, Kabanemi KK, Heckele M (2006) Modeling and optimization of the hot embossing process for micro- and nanocomponent fabrication. J Microlith Microfab Microsyst 5(1)
Metadaten
Titel
Sub-μm structured lotus surfaces manufacturing
verfasst von
Matthias Worgull
M. Heckele
T. Mappes
B. Matthis
G. Tosello
T. Metz
J. Gavillet
P. Koltay
H. N. Hansen
Publikationsdatum
01.08.2009
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 8/2009
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-008-0744-7

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