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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 3/2013

01.03.2013 | Technical Paper

High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension

verfasst von: Felix Greiner, Helmut F. Schlaak

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 3/2013

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Abstract

Vertical nano and micro pillars perpendicularly rising from a substrate offer two lateral translatory–rotatory degrees of freedom. Electroforming allows their production as small footprint integrated suspension elements of micro to nano scale. This paper demonstrates the design of a novel inertial sensor concept with acceleration sensor and gyroscope function using only one inertial mass. Experimental results using UV Direct LIGA with AZ 125 nXT show the feasibility of a technology demonstrator with a copper micro pillar of 400 μm length and 40 μm diameter. Further work using x-ray Direct LIGA is scheduled for the production of the pillar with a length of 100 μm and a diameter of 3–6 μm. Fabrication concepts and pilot tests show promising possibilities for miniaturization towards nano scale pillars for minimal footprint suspension in MEMS.
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Metadaten
Titel
High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension
verfasst von
Felix Greiner
Helmut F. Schlaak
Publikationsdatum
01.03.2013
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 3/2013
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-012-1659-x

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