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Semiconductors
Erschienen in: Semiconductors 16/2019

01.12.2019 | NANOSTRUCTURES TECHNOLOGY

Femtosecond Laser-Induced Periodical Nanomodification of Surface Composition

verfasst von: A. A. Ionin, S. I. Kudryashov, S. V. Makarov

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 16/2019

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Abstract

Nanoscale periodical chemical composition modification of different two-component compound materials GaAs, CdTe, W0.5C and TiC was realized for the first time through multi-shot femtosecond laser irradiation of their surfaces. The resulting surface modification represents periodical nanoscale ripples with different chemical composition in valleys and ridges. The underlying mechanism is related to a sequence of elementary processes, such as laser excitation surface plasmon-polariton, their interference with the incident laser radiation, inhomogeneous surface heating and incongruent cavitation-like material removal. The latter mechanism is responsible for higher evaporation rate of the components with higher volatility, resulting in growth of surface concentration of low-volatility components.
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Metadaten
Titel
Femtosecond Laser-Induced Periodical Nanomodification of Surface Composition
verfasst von
A. A. Ionin
S. I. Kudryashov
S. V. Makarov
Publikationsdatum
01.12.2019
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 16/2019
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S106378261912011X

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